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藍寶石和碳化硅品質(zhì)提升解決方案 >> 位錯腐蝕檢測解決方案 >> 藍寶石與碳化硅腐蝕方案
藍寶石晶體(0001)面和(1120)面的位錯腐蝕坑呈現(xiàn)不同的形狀是由晶體所屬的點群和晶體結(jié)構(gòu)所決定的。化學腐蝕劑的作用就是破壞晶體內(nèi)部分子或原子間相互作用鍵，鍵合力較小的首先被破壞。而在晶體生長過程中位錯也主要產(chǎn)生在相互鍵合較弱的分子或原子間。
晶體生長時如果外界條件(如生長速度的波動、熱振動、機械振動、結(jié)晶時固態(tài)-液態(tài)原子密度差異、結(jié)晶冷卻應(yīng)力產(chǎn)生的晶格滑移等)發(fā)生變化就容易造成晶格排列錯位。
晶體缺陷是處于能量較高的不穩(wěn)定的非平衡狀態(tài)。因此在化學試劑作用下，缺陷處晶格原子首先與化學試劑發(fā)生作用，釋放出能量以達到平衡態(tài)，從而形成某種特定形狀的腐蝕圖像。
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