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  • 晶體表面油污檢測(cè)及處理方案
  • 晶體表面油污檢測(cè)及處理方案
    					晶片表面有油污,很難以檢測(cè)到,即便用KLA也難以判斷,這主要是有檢測(cè)原理決定的。有污染的晶片若被應(yīng)用的外延,就會(huì)嚴(yán)重影響到LED的品質(zhì),使成品率下降。所以,如果要排除污染,就必須有一個(gè)專業(yè)的設(shè)備進(jìn)行探測(cè)與判斷。
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